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クリーンルーム内清浄度監視システム

  • 工場クリーンルーム内の清浄度(塵量)を定期的に測定および監視します。
  • パーチクルカウンタは、専用装置を用い通信制御にてクリーンルーム内の複数ポイントデータを収集します。
  • 収集データは監視パソコン上で各ポイントごとの清浄度表示およびグラフにて表示します。
  • 監視パソコンの集計データは、定期的に工場内中央監視システムに送信します。
クリーンルーム内清浄度監視システム図